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光学微电子超净无尘车间平面布局要求
发布时间:
2022-01-10
光学微电子超净无尘车间平面布局要求
光学微电子超净无尘车间平面布局要求
✦净化车间洁净生产区
洁净等级设置为百级、千级或万级。
✦无尘生产辅助用房
洁净等级设置为万级、十万级，一般包括人流进出洁净用房，物料进出清洁区和部分车间办公生活区等。
✦超净净化车间管理区
洁净等级设置为十万级或三十万级，一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。
✦车间生产专用设备区
该区域对空气净化等级没有要求，但要求与净化车间设置有效的物理或空气隔离，本区域主要设置净化空调机房、电气用房、纯水间、生产用气间。
光学微电子超净无尘车间装修要求
✦车间吊顶材料
采用FFU盲板或选用防火彩钢板，吊顶内须可上人，对承重要进行详细技术。
✦车间墙体装修材料
采用防火彩钢板，彩钢板厚度为50mm，可以尽量有效的适用场地的占地面积，该彩钢板在安装时需要进行接地处理，以达到排放静电的功能。
✦车间地面装修
一般选用环氧自流平或PVC卷材，但无尘车间内须对上述两种材料进行抗静电处理。
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